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當前產品單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

參考價 ￥ 1
訂貨量 ≥1臺
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱安徽科冪儀器有限公司
  • 品       牌科冪儀器
  • 型       號
  • 所  在  地合肥市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2025/2/8 9:52:01
  • 訪問次數83
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產品詳情

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

特點：高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；

滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū).并可實現快速升溫和降溫功能；

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低


技術參數



項目


型號
TFE - 1200 - 50 -  220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)


可達溫度


1150℃（短期）


額定溫度


1100℃


推薦升溫速率


≤10℃/min


控制精度


±1℃


爐管尺寸


Φ30/50/60*1200mm


爐膛尺寸


Φ80*220mm


加熱區(qū)長度


220mm


恒溫區(qū)長度


80mm


加熱元件


優(yōu)質國產電阻絲


額定功率


3KW


供氣系統(tǒng)


三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制）


射頻電源


射頻功：5-500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動匹配


真空系統(tǒng)


雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等）


外形尺寸


1250*510*810mm



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發(fā)布詢價單

安徽科冪儀器有限公司

類型：
生產廠家
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商家概況

主營產品：
反應釜
公司性質：
生產廠家

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